製品情報
フォトン・エミッション顕微鏡 PEMS-1000

YAGレーザー薄膜加工装置 VL-Cシリーズ

有機デバイス等のパターニングや、IC等のメタル配線カット、保護膜除去等、様々な用途で使用可能です。
発振波長は1064nm、532nm、355nm、266nmから選択可能で、発振波長によりヘッドが変わります。(最大で全波長発振可能) また、発振波長の追加のアップグレードも可能です。
また、X-Y-θスリットを標準装備し、加工時の使い勝手も向上しました。最小加工サイズは約1μm以下のスポットサイズとなります。(※対象物材質、下地、加工条件等により異なります。)
大出力のため、300μm角の範囲を、ステージ移動等を行わず、一度に加工することも可能です。
ラボ用の完全マニュアルタイプ、自動パターニングにも対応したセミオートタイプ等、ご要望に合わせてシステムアップ可能です。
プローバ(マニュアル/セミオート/オート/真空・極低温)への搭載も可能ですので、ご相談ください。
YAGレーザー薄膜加工装置搭載 極低温/真空プローブ・システム

この度、極低温/真空プローブ・システムで多くの実績を誇る ナガセ電子機器サービス株式会社殿にて、極低温/真空プローブ・システムへ弊社 YAGレーザー薄膜加工装置が搭載可能となる接続ユニットが開発されました。ナガセ電子機器サービス殿製プローバでは、極低温・真空環境下において、各種デバイスの基本特性とも言うべきI-V特性についても、従来では考えられなかったフェムトオーダーでの測定を可能にし、さらには非常に測定が困難なC-V特性、RF特性評価についても対応可能となっております。
・ナガセ電子機器サービス殿ホームページ http://www.nes-nagase.co.jp/product/probing.html
【画像提供:ナガセ電子機器サービス株式会社殿 GRAIL 10-LZ】
Probe-Tec™シリーズ XYZ-7 マイクロポジショナー

・XYZ移動量:XYZ各7mm (0.6mm / 回転)
・分解能:10um (参考値)
・固定方式:切替式マグネット (オプション:バキュームチャック)
・同軸プローブ標準装備
*各社プローバで使用できるようにプローブアームを専用で製作いたします。また、簡易プローブユニット等の製作も可能です。
Probe-Tec™シリーズ 共和理研社製プローバ用微小信号測定対応チャック
